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1月
2021

新, 来自工艺技术的超高纯度加热专家, IPA和易燃溶剂强劲加热的未来即将到来, SHX系列产品.

新, 来自工艺技术的超高纯度加热专家, IPA和易燃溶剂强劲加热的未来即将到来, SHX系列产品.

威洛比, 俄亥俄州-工艺技术, 领先的内联制造商, 半导体行业用超高纯度加热器, 很兴奋的宣布它的新家庭 SHX和SHX- ex加热器 IPA和易燃溶剂. 这种低内部体积加热器的新系列是集成到用于半导体制造的超高纯度(UHP)溶剂加热应用中, 包括晶片清洗, 蚀刻, 以及光刻胶剥离过程.

安全加热IPA和低闪点溶剂在我们的独特设计中是至关重要的.老多琳·兰加说. 产品经理. “我们拥有专利的净化系统, 间接加热, 低瓦密度,为安全运行提供了多层次的保障. 防爆认证也可提供.”

SHX先进的清洁度设计特点是紧凑, 间接, 超纯, 内嵌流道-不与o形环接触. 专利清洗技术消除了高温流体渗透的风险,并保证立即发现泄漏.

设计以达到最高的性能, 清洁, and safety standards; The SHX heater family is an optimal heating solution. 100级无尘室组装完毕.

额外的产品规格:

  • 温度:高达90°C(194°F).
  • 压力:高达475 kPa (69 PSI).
  • 功率: SHX - 3kW, 6kW, 9kW & 12 kW.
    SHX-EX - 3千瓦 & 6kW.
  • 电压:200-480V,单相或三相.
  • 认证:SHX - UL 499 & CE(待定).
    Shx-ex - ul 499 & CE(待定), ATEX II 2g Ex db IIA TA Gb (pending),
    半S2和S3(待定).

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